真空鍍膜電源-南通嘉科電源制造有限公司
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        真空鍍膜電源





        詳細介紹
        產品簡介:
        真空鍍膜設備專用電源是濟南能華公司根據真空鍍膜設備的特點定為設計的新型產品,采用先進的PWM脈寬調制技術,具有良好的動態特性和抗干擾能力,動態響應時間小于10mS。設計有電壓、電流雙閉環控制電路,可實時對輸出電壓電流的控制,能有效解決濺射過程中陰極靶面的不清潔引起弧光放電造成大電流沖擊引起電源的損壞問題。采用數字化DSP控制技術,自動控制電源的恒壓恒流狀態。在起弧和維弧時能自動快速控制電壓電流使起弧和維弧工作更穩定,穩流精度大大提高,能有效節約靶材用量,提高產能,保證鍍膜質量。
        產品性能及特點:
        1.采用先進的PWM脈寬調制開關電源技術,體積小、效率高、運行穩定、噪聲低、對電網干擾小,在節能和鍍膜工藝的穩定性上比傳統電源有明顯的優勢。
        2.采用DSP數字化控制技術,在電網電壓波動和負載大幅度波動(弧光放電情況下)情況下保證電源高效、穩定地工作,充分保證鍍膜工藝的重復性,精確控制膜厚和減少靶材用量。
        3.針對新靶清洗時存在的頻繁打火現象, 設計了抑制打火自動保護功能,既保證了靶面清洗工藝的穩定性,又提高了靶面清洗速度。
        4.具有電壓陡降特性,可充分滿足磁控濺射的特殊要求。
        5.電源的輸出電壓電流控制精度小于0.2%。
        6.具有本機控制和遠程控制兩種模式,默認本機控制,在遠程控制模式下用戶的計算機通過RS485接口,控制電源的輸出電壓和電流,顯示電源的工作狀態。
        7.具有模擬量控制接口,用戶的4-20mA信號能控制電源的電壓電流,電源輸出4-20mA信號供用戶的PLC顯示電源的輸出電壓電流。
        8.電源的功率因數高達0.95,電源效率≥90%。




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